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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京中科復(fù)華科技有限公司


紫外光刻機

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參  考  價:200 - 280 /件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號

    ABM/6/350/NUV/DCCD/SA

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-04-09 09:44:01瀏覽次數(shù):318次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:12條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進口    

截止到2008年1月,ABM公司在世界范圍售出了500多臺光刻機,50多臺單獨曝光系統(tǒng)??蛻舭绹鳱SA和INTEL、哈佛大學(xué)、LG、菲利普、惠普、3M等,ABM在中國各地也擁有不同領(lǐng)域的客戶,包括眾多的工廠、大學(xué)和研究所等。

詳細介紹

主要配置:

6“,8"光源系統(tǒng)
可支持2“,3",4“,6",8“(圓/方片)及碎片光刻
手動系統(tǒng),半自動系統(tǒng)
支持電源350-2000 Watt
支持深紫外近紫外波長(可選項)
支持背后對準(zhǔn)及MEMS工藝要求
CCD或顯微鏡對準(zhǔn)系統(tǒng)


主要性能指標(biāo):
光強均勻性Beam Uniformity::
--<±1% over 2" 區(qū)域
--<±2% over 4" 區(qū)域
   --<±3% over 6" 區(qū)域

接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV):0.5 um
接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
支持接近式曝光,特征尺寸CD:
--0.8um 硬接觸
--1um 20um 間距時
--2um 50um 間距時
正面對準(zhǔn)精度 ± 0.5um
背面對準(zhǔn)精度±1um--±2um(Depends on user)
支持正膠、負膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um
支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻
支持真空、接近式、接觸式曝光
支持恒定光強或恒定功率模式

關(guān)鍵詞:顯微鏡

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