磁控濺射工作原理:
低氣壓下氣體的輝光放電現(xiàn)象(與直流相同),顯著區(qū)別:
1. 靶材后有磁鐵,直流沒(méi)有;
2. 靶材電壓為-600V左右,顯著低于直流;
3. 絕大部分電子和負(fù)離子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下,做螺旋線(xiàn)運(yùn)動(dòng),單個(gè)電子電離的氣體分子大大多于直流,因此,在較好的真空、較低的電壓下即可獲得較大的電流;
4. 在磁場(chǎng)在作用下,絕大部分電子和部分負(fù)離子落在靶材附近,無(wú)法到達(dá)樣品臺(tái),對(duì)樣品基本沒(méi)有熱損傷
工作特點(diǎn):濺射電流與壓力無(wú)關(guān)、基本沒(méi)有熱損傷。
應(yīng)用領(lǐng)域:適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品
工作時(shí)真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場(chǎng)發(fā)射等高分辨觀測(cè)
電極制備。
GVC-2000鍍膜后電鏡效果圖,高分辨圖片中,無(wú)明顯顆粒感,適配高分辨掃描電鏡,充分體現(xiàn)表面細(xì)節(jié)特征
(左)
(右)
上面兩張圖片為鋰電池隔膜樣品的電鏡圖片:
左側(cè)圖片為GVC-2000噴金后的電鏡觀測(cè)圖,可以看出,樣品形貌真實(shí)完整;
右側(cè)圖片為其他設(shè)備噴金后的電鏡觀測(cè)圖片,可以看出,熱損傷嚴(yán)重,幾乎無(wú)法識(shí)別為同種樣品。
鍍膜顆粒度:
GVC-2000離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸6~10nm
產(chǎn)品特點(diǎn):
一、安全
1.高壓線(xiàn)多重防護(hù),外加8×5透明真空管,安全;
2.外殼良好接地;
3.真空互鎖;
4.電流>50mA,真空度超過(guò)100Pa,系統(tǒng)自動(dòng)切斷濺射;
5.實(shí)體按鍵,安全;
6.濺射頭采用阻尼設(shè)計(jì),任意位置懸停
二、注重用戶(hù)體驗(yàn)
1.5英寸液晶屏,簡(jiǎn)潔明了;
2.最多設(shè)置兩個(gè)參數(shù),即可開(kāi)始工作;
3.參數(shù)設(shè)定后,系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度,無(wú)需人工調(diào)節(jié)針閥,簡(jiǎn)單方便;
4.自動(dòng)放氣;
5.樣品臺(tái)高度1秒調(diào)節(jié)。
三、信息量大
1.濺射過(guò)程中真空度和濺射電流以曲線(xiàn)方式實(shí)時(shí)顯示,簡(jiǎn)單直觀;
2.靶材使用時(shí)間,儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄,直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。
四、快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?,在操作人員更換時(shí),無(wú)需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備。
- 更多詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)致電咨詢(xún)!