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GVC-1200離子濺射儀

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更新時(shí)間：2022-10-07 12:00:09瀏覽次數(shù)：235次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GVC-1200離子濺射儀易于使用的基本濺射涂布機(jī)；設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時(shí)，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備；實(shí)體按鍵，安全。

詳細(xì)介紹

直流濺射工作原理：

1.低氣壓下（一定的真空度）氣體的輝光放電現(xiàn)象：

2. 靶材接高壓，本設(shè)備為-2400V，為負(fù)極；樣品臺(tái)接地，為正極；

3. 靶材與樣品臺(tái)之間形成電場(chǎng)，電離氣體，可用空氣、Ar、N2；

4.氣體電離后，正離子飛向負(fù)極，轟擊靶材，靶材原子被濺射飛出，沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜；

5.電子或負(fù)離子在電場(chǎng)的作用下，飛向樣品臺(tái)，會(huì)加熱樣品，濺射電流10mA，濺射時(shí)間1分鐘，樣品臺(tái)溫度約為60℃

工作特點(diǎn)：濺射電流隨壓力變化，壓力升高，濺射電流才能增加；

壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大，熱損傷隨之加劇。

應(yīng)用領(lǐng)域：非熱敏性樣品，如無機(jī)鹽類粉體等，性價(jià)比較高

適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺(tái)式電鏡等