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臺階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P7

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更新時間:2022-11-02 15:33:30瀏覽次數(shù):348次

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產(chǎn)品簡介

臺階儀 探針式輪廓儀 膜厚儀 P7

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

P-7KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術積累和不斷迭代更新,集合眾多技術優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看, P-7具有業(yè)界的測量重復性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制,良好的線性,和精準的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應用場景

主要技術參數(shù)

  • 1.重復性:≤4A 0.01%
  • 2.垂直分辨率:0.01A
  • 3.水平分辨率(X): 0.025um
  • 4.水平分辨率(Y):0.5um
  • 5.采樣率()4,000,000
  • 6.垂直線性度:±0.5%2000A 10A ≤ 2000
  • 7.針壓范圍:0.03~50mg
  • 8.量測長度:150mm(無需拼接)
  • 9.掃描速度:2um/s-25mm/s


產(chǎn)品介紹:

P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術積累和不斷迭代更新,集合眾多技術優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看, P-7具有業(yè)界的測量重復性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制,良好的線性,和精準的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應用場景。


主要技術參數(shù):

重復性:≤4A (0.01%)
垂直分辨率:0.01A
水平分辨率(X): 0.025um
水平分辨率(Y):0.5um
采樣率(點):4,000,000
垂直線性度: ±0.5%>2000A
10A ≤ 2000

針壓范圍:0.03~50mg
量測長度:150mm(無需拼接)
掃描速度:2um/s-25mm/s產(chǎn)品介紹:

P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術積累和不斷迭代更新,集合眾多技術優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看, P-7具有業(yè)界的測量重復性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制,良好的線性,和精準的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應用場景。


應用

臺階高度

P-7可以提供納米級到1000μm2D3D臺階高度的測量。

這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。

P-7具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠的軟性材料。



紋理:粗糙度和波紋度

P-7提供2D3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。


外形:翹曲和形狀

P-7可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導體或化合物半導體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導致這種翹曲的原因。P-7還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結構高度和曲率半徑。


應力:2D3D薄膜應力

P-7能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產(chǎn)生的應力。

缺陷復檢

缺陷復查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測設備找出缺陷并將其位置坐標寫入KLARF文件。缺陷復檢功能讀取KLARF文件、對準樣本,并允許用戶選擇缺陷進行2D3D測量。

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