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超高精度激光干涉儀

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更新時間:2023-01-01 15:18:28瀏覽次數:588次

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產品簡介

D7型λ/1000超高精度激光干涉儀,設計緊湊、用戶界面友好,0.6nm的測量精度

詳細介紹


D7λ/1000超高精度激光干涉儀,設計緊湊、用戶界面友好,0.6nm的測量度。非常好地測量高精密光學系統(tǒng)、復雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差;揭示起源于制造技術的面形特征和缺陷。這對于建造精密的衛(wèi)星相機、高分辨望遠鏡、強大的微芯片,乃至超快計算機都是的重要手段。

 

 

主要特點

D7型激光干涉儀提供0.6nm的測試準確度和的重復性(世界紀錄)

RMS重復性< 0.06 nm (λ/10500)

檢測球面、平面、非球面及自由形體

測量光學系統(tǒng)的透射波陣面

曲率半徑測量

數據獲取相移干涉測量法(PSI)

尺寸:490mm x 300mm x 260mm

D7型激光干涉儀:緊湊、可靠使用方便

測試過程簡便,只需三個步驟:

  1. 把待測的光學系統(tǒng)或部件放在支架上

2. 用軟件界面準直調整測試部件

3. 調整干涉條紋并按動測量按鈕即可進行測量

 

優(yōu)點:

優(yōu)點

好處

理想參考:由于采用物理參考,因而沒有傳輸誤差

1. 省時因為無需改變大量參考

2. 節(jié)省成本因為無需購買昂貴的參考裝置

比標準性能傳輸的菲索球面干涉儀有超過100倍更高的精度

節(jié)省時間和成本:因為不需要中間儀器和附加的方法來提高精度

D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗更多的表面特征

由于在安裝和光學系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差,從而節(jié)省了成本

穩(wěn)定性和堅固性

1. 省時:因為的重復性提供準確的測試數據,無需反復地證明測試結果

2. 節(jié)省成本:因為D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件

應用范圍寬

節(jié)省時間和成本:由于緊湊和簡單的設置,可在實驗室或工廠(現場)垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀

沒有可追溯的誤差

由于在測量非球面和自由形體時簡化的設置,從而節(jié)省時間和成本

 

主要技術參數

性能

精度

0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重復性

0.23 nm (λ/2800)

數據采集時間

10ms

光學

系統(tǒng)數值孔徑(NA)

0.6 (F 0.83)

系統(tǒng)成像數值孔徑(NA)

0.55 (F 0.91)

成像變焦系統(tǒng)

軟件界面控制4 x光學變焦

成像

具有偽影去除選項的相干(無散射玻璃)

CCD相機

0.5k × 0.5k (可選:1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k,也可按照客戶要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度(數字化)

12

曝光時間

最少40μs

傳感器像素分辨

500×500,直徑50mm

聚焦控制

電動及軟件界面控制

光學聚焦范圍

±2

激光器

激光類型和波長

穩(wěn)定的He-Ne激光器,波長:632.8nm

激光功率

2mW(更高功率可根據用戶的要求提供)

偏振

可調節(jié)測試表面性質

相干

100

系統(tǒng)

數據采集

相移干涉測量(PSI)或靜態(tài)

PSI方法

PZT電子相移

準直范圍

±2.5

準直類型

雙點

準直十字線

計算機產生

*接受定制解決方案

 

D7型激光干涉儀的應用:

I. 波前質量

投影鏡頭

望遠鏡

顯微鏡

光學鏡頭

 

II.表面光學質量

球面

平面

角隅稜鏡

非球面

自由形體

 參考光學系統(tǒng)

 

III.曲率半徑

把長距離傳感器與D7激光干涉儀提供的聚焦精度相結合,可獲得ppm RoC精度

 

IV. 成像質量

在部署之前驗證你的光學系統(tǒng)的分辨能力

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