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更新時(shí)間：2022-11-27 17:38:47瀏覽次數(shù)：203次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置)采用PLC控制，觸摸顯示屏操作
RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置) 采用PLC控制，觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺。
| 型號 | RIE-24000 |
| 真空系統(tǒng) | 進(jìn)樣室：機(jī)械泵系統(tǒng)；刻蝕室：分子泵機(jī)組 |
| 樣品尺寸 | 500×400mm |
| 刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
| 刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
| 自動化程度 | 真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。 |
| 人機(jī)界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
| 操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
| 配套件選配 | 可選擇進(jìn)口件或國產(chǎn)件 |
| 送/取樣片方式 | 機(jī)械手自動送/取片 |
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