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UVISEL Plus橢偏儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2023-01-08 12:39:13瀏覽次數(shù):518次

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產(chǎn)品簡介

基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISELPlus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍,從而能獲得界面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息

詳細(xì)介紹

基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍,從而能獲得界面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息??稍?分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘。模塊化設(shè)計(jì),可靈敏拓展,具有更好的可升級(jí)性能。UVISEL Plus是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。

UNISEL.png

主要特點(diǎn)

* 50kHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

* 具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率

* 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測

* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

* 配置靈活


規(guī)格參數(shù)

調(diào)制方式相位調(diào)制+斬波器 雙調(diào)制
調(diào)制頻率50kHz
光譜范圍

190-920nm(可擴(kuò)展到2100nm)

* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

光譜分辨率<>
雜散光抑制率<>
色散公式≥ 31個(gè)
材料模型庫≥ 300個(gè)
微光斑類型反射式,全光譜消色差
微光斑可選50μm,100μm,1mm(90度)
探測器分別針對紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
樣品臺(tái)手動(dòng)/自動(dòng),支持12英寸晶圓(可選)
自動(dòng)量角器變角范圍35° - 90°,全自動(dòng)調(diào)整,最小步長0.01°


關(guān)鍵詞:橢偏儀
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