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行業(yè)產(chǎn)品

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北京金盛微納科技有限公司


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RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(帶Load_Lock裝置)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:林平查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-12-09 16:23:40瀏覽次數(shù):280次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:12條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:林平

產(chǎn)品簡介

本設(shè)備采用PLC控制,觸摸顯示屏操作

詳細介紹

     本設(shè)備采用PLC控制,觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺。

本設(shè)備通過對真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動控制,以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。

產(chǎn)品主要性能指標:

 

型號

RIE-24000

真空系統(tǒng)

進樣室:機械泵系統(tǒng);刻蝕室:分子泵機組

樣品尺寸

500×400mm

刻蝕材料

SiO2、Si3N4

刻蝕不均勻性

≤ ±5%

自動化程度

真空系統(tǒng)、機械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。

人機界面

Windows環(huán)境、觸摸屏操作

操作方式

全自動方式、非全自動方式

配套件選配

可選擇進口件或國產(chǎn)件

/取樣片方式

機械手自動送/取片

 

關(guān)鍵詞:人機界面
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