污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
北京金盛微納科技有限公司
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更新時間：2022-12-09 16:23:40瀏覽次數(shù)：254次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線本設(shè)備采用PLC控制，觸摸顯示屏操作
本設(shè)備采用PLC控制，觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺。
本設(shè)備通過對真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動控制，以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。
產(chǎn)品主要性能指標(biāo)：
型號 | RIE-24000 |
真空系統(tǒng) | 進樣室：機械泵系統(tǒng)；刻蝕室：分子泵機組 |
樣品尺寸 | 500×400mm |
刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
自動化程度 | 真空系統(tǒng)、機械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。 |
人機界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
配套件選配 | 可選擇進口件或國產(chǎn)件 |
送/取樣片方式 | 機械手自動送/取片 |
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