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戈瑙(上海)工業(yè)設備有限公司
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產品型號
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廠商性質其他
所 在 地上海市
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更新時間:2022-12-20 14:46:56瀏覽次數:854次
聯系我時,請告知來自 環(huán)保在線此型工業(yè)用臺階儀基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。該儀器 配備了各種型號探針,提供了通過過程......
產品主要特點:
1. 采用直動式檢出器,測量穩(wěn)定
2. 重復性及再現性
3. 低測定力采用
a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內任意設定
b. 可測量柔軟性質表面
4. 真實能見度
基本參數配置:
一、樣品臺:
1. 樣品臺尺寸:φ160mm
2. 工件尺寸:φ200mm
3. 工件厚度:52mm
4. 工件重量:2kg
5. 傾斜調整范圍:±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質:黑色硬質鋁
7. 手動旋轉:360°(手動粗調)、±5°(微調,最小約0.5°)
二、傳感器(pick up):
1. 原理:直動式傳感器 (業(yè)界)
2. Z方向測定范圍:Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力: 10uN ~500uN
5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)
6. 驅動方式:直動式
7. 再現性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸):
1. 移動量(測長):100mm (±50mm)
2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復誤差:±5um
四、Z軸:
1. 移動量:54mm
2. 移動速度:max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
五、Y軸:(手動定位用)
1. 移動量:25mm(±12.5mm)
六、工件觀察:
1. 彩色1/3"CCD,x4物鏡倍率
2. 綜合倍率:約320倍 (使用19" monitor時)
3. 視野:1.2*0.9mm
4. 觀察方向:右側斜視
5. 照明:白色LED(可使用軟件調整明暗度)
更多型號及各類不同特殊應用請隨時咨詢我司人員進行交流咨詢,以便提供給您更加精準的型號配置推薦。
產品主要特點:
1. 采用直動式檢出器,測量穩(wěn)定
2. 重復性及再現性
3. 低測定力采用
a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內任意設定
b. 可測量柔軟性質表面
4. 真實能見度
基本參數配置:
一、樣品臺:
1. 樣品臺尺寸:φ160mm
2. 工件尺寸:φ200mm
3. 工件厚度:52mm
4. 工件重量:2kg
5. 傾斜調整范圍:±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質:黑色硬質鋁
7. 手動旋轉:360°(手動粗調)、±5°(微調,最小約0.5°)
二、傳感器(pick up):
1. 原理:直動式傳感器 (業(yè)界)
2. Z方向測定范圍:Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力: 10uN ~500uN
5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)
6. 驅動方式:直動式
7. 再現性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸):
1. 移動量(測長):100mm (±50mm)
2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復誤差:±5um
四、Z軸:
1. 移動量:54mm
2. 移動速度:max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
五、Y軸:(手動定位用)
1. 移動量:25mm(±12.5mm)
六、工件觀察:
1. 彩色1/3"CCD,x4物鏡倍率
2. 綜合倍率:約320倍 (使用19" monitor時)
3. 視野:1.2*0.9mm
4. 觀察方向:右側斜視
5. 照明:白色LED(可使用軟件調整明暗度)
更多型號及各類不同特殊應用請隨時咨詢我司人員進行交流咨詢,以便提供給您更加精準的型號配置推薦。
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