一、儀器規(guī)格參數(shù)
G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制,可以滿足條紋非常密集、超大像差(PV值非常大)狀況下的準(zhǔn)確測(cè)量。儀器采用進(jìn)口He-Ne激光器,并標(biāo)配氣浮減震平臺(tái),在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分:
產(chǎn)品型號(hào) | G5U-PH |
產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
測(cè)試口徑 | Φ5mm |
輔助對(duì)準(zhǔn)口徑 | Φ30mm |
標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | λ/20 |
光源 | 進(jìn)口He-Ne激光器(632.8nm) |
光路切換 | 輔助觀察(Φ30mm大視場(chǎng))與測(cè)試(Φ5mm小視場(chǎng))模式電控切換 |
電源 | AC220V50HZ |
標(biāo)配配件 | 氣浮減震平臺(tái) |
軟件部分:
軟件名稱 | 移相算法(簡(jiǎn)稱PH) |
分析項(xiàng)目 | 透過(guò)波前PV值、平行度Tilt值、ttv等 |
測(cè)試重復(fù)性 | PV:0.01λ RMS:0.003λ |
測(cè)試允許誤差 | PV<1λ時(shí) PV:0.05λ Tilt:0.2fr(零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋) |
測(cè)試時(shí)間 | 1.5秒 |
二、儀器特點(diǎn)
1、可滿足超大像差的準(zhǔn)確檢測(cè)
隨著手機(jī)行業(yè)的發(fā)展,3D屏及全面屏的攝像孔開(kāi)始無(wú)限靠近弧邊,相應(yīng)的,透過(guò)波前的PV值也遠(yuǎn)大于之前的2D及2.5D屏。尤其是攝像孔邊緣區(qū)域(貼近弧邊)的干涉條紋會(huì)非常密集,超出上一代產(chǎn)品G10U-PH激光干涉儀(及行業(yè)內(nèi)主流的與G10相當(dāng)?shù)漠a(chǎn)品)的分辨極限,導(dǎo)致無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量。
G5U-PH便針對(duì)該特殊需求而設(shè)計(jì),可以對(duì)超大像差實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確分辨及測(cè)試。
相同攝像孔在G5U及G10U干涉儀圖像對(duì)比
可準(zhǔn)確測(cè)量的像差,G5U-PH相對(duì)于G10U-PH的升級(jí)見(jiàn)下表:
| G10U-PH | G5U-PH |
條紋數(shù) | 20fr | 40fr |
PV(背景零場(chǎng)測(cè)試值) | 1λ | 3λ |
注:PV(背景零場(chǎng)測(cè)試值)為背景調(diào)整為零條紋時(shí),直接測(cè)量所得的PV值。
2、空腔調(diào)整零場(chǎng)精度高
在測(cè)試攝像小孔區(qū)域的平行度時(shí),需要預(yù)先把空腔調(diào)整至接近零條紋。當(dāng)測(cè)試口徑為Φ5mm時(shí),由于觀察視場(chǎng)非常小,調(diào)整零條紋的精度較低。為此,G5U-PH干涉儀引入輔助觀察模式,可以在Φ30mm的大視場(chǎng)下調(diào)節(jié)空腔的零場(chǎng),保證零場(chǎng)調(diào)節(jié)精度。
3、光源為進(jìn)口He-Ne激光器(波長(zhǎng)632.8nm)
He-Ne激光器相比半導(dǎo)體激光相比有如下優(yōu)點(diǎn):相干性穩(wěn)定、優(yōu)良,干涉圖的對(duì)比度及清晰度更高,且壽命很長(zhǎng)(一般可達(dá)到2萬(wàn)小時(shí)以上)。半導(dǎo)體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會(huì)使干涉條紋的對(duì)比度、清晰度周期性變差,對(duì)數(shù)字化測(cè)量有很大影響;且壽命較短,易被靜電損傷。
4、標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)
儀器標(biāo)配氣浮減震平臺(tái),即使在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。
5、后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試方案
儀器可通過(guò)串口與自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行通訊。且進(jìn)口He-Ne激光器與氣浮減震平臺(tái)的使用,使儀器可以在無(wú)人干預(yù)的情況下,保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試,后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試。