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冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹設(shè)備名稱(chēng)：冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡型號(hào)：S4800廠家：日本Hitachi主要用途：該設(shè)備主要用于各種樣品的高分辨表面形貌成像觀察，點(diǎn)分辨率可達(dá)1nm

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

設(shè)備名稱(chēng)： 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

型號(hào)： S4800

廠家：日本Hitachi

主要用途：

該設(shè)備主要用于各種樣品的高分辨表面形貌成像觀察，點(diǎn)分辨率可達(dá)1 nm。同時(shí)該設(shè)備由于發(fā)射束流低并配備了減速裝置，因此可以較大程度上減少樣品在電子束轟擊下的充電效應(yīng)，適合于一些不導(dǎo)電樣品和在電子束輻照下異損壞樣品（有機(jī)、高分子、生物樣品等）的表面高分辨成像。

主要配置：

電子束減速裝置

性能指標(biāo)：

1、二次電子圖像分辨率

≤1.0nm保證(加速電壓15kV WD = 4mm)

≤2.0nm 保證(加速電壓1kV WD = 1.5mm，普通模式)

≤1.4nm 保證(照射電壓1kV，WD = 1.5mm，使用減速裝置)

放大倍率：20~800,000×

2、樣品臺(tái)

S-4800型

X 0-50 mm

Y 0-50 mm

Z 1.5-30 mm

T -5°~ + 70°

R 360°

樣品尺寸（直徑） 100mm

樣品臺(tái)控制 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡
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