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更新時(shí)間:2023-06-03 19:10:31瀏覽次數(shù):636次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線HON-He/Ar/Ne/Xe-S/W/VVV系列惰性氣體純化器
系列 Series | 雜質(zhì) Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) |
HON- He/Ar/Ne/Xe -S/W/VVV | O2 | <3 | <1 |
N2 | <1 | -- | |
H2 | <1 | <1 | |
CO | <1 | <1 | |
CO2 | <1 | <1 | |
CH4 | <0.5 | -- | |
H2O | <3 | <1 | |
NMHC | <0.5 | <1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | <1bar | ||
Flow | 10~3000Nm3/h |
工藝介紹:
(1)通過(guò)物理和化學(xué)吸附方式脫除O2、CO、CO2、H2O、H2等雜質(zhì)。
(2)吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生,反復(fù)使用。
(3)多柱交替吸附、再生,可連續(xù)供氣。
應(yīng)用領(lǐng)域:
集成電路制造行業(yè)
半導(dǎo)體、LED、激光、太陽(yáng)能光伏行業(yè)
氣體行業(yè)
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