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>SLC-24系列直線位移臺(tái)<

詳細(xì)介紹

SLC-24系列位移臺(tái)都是24mm寬，10.5mm高，剛性比SLC-17系列還要好，高的直線度允許實(shí)現(xiàn)的位移精度。使用該系列的位移器，可實(shí)現(xiàn)大行程范圍的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的位移精度。

參數(shù)	SLC-2430	SLC-2445	SLC-2460	SLC-2475	SLC-2490
行程	16mm	29mm	35mm	49mm	63mm
開(kāi)環(huán) 分辨率	< 1 nm
速度	> 20 mm/s
垂直負(fù)載	20N	30N
體積	30 x 24 x 10.5 mm3	45 x 24 x 10.5 mm3	60 x 24 x 10.5mm3	75 x 24 x 10.5mm3	90 x 24 x 10.5mm3
重量	36g	54g	72g	90g	108g
可選閉環(huán)傳感器S
傳感器分辨率	1nm
重復(fù) 精度	±30nm	± 45nm	± 60nm	± 75nm	± 90nm
可選閉環(huán)傳感器L
傳感器分辨率	4nm (MCS2) 50 nm (HCU)
重復(fù) 精度	±60nm(MCS2) ± 1 µm(HCU)	±90nm(MCS2) ± 1 µm(HCU)	±120nm(MCS2) ± 1µm(HCU)	±150nm(MCS2) ± 1µm(HCU)	±180nm(MCS2) ± 1µm(HCU)

參數(shù)	SLC-24105	SLC-24120	SLC-24150	SLC-24180
行程	69mm	83mm	103mm	123mm
閉環(huán) 分辨率	< 1 nm
速度	> 20 mm/s
垂直負(fù)載	30N
體積	105x 24 x 10.5 mm3	120 x 24 x 10.5 mm3	150 x 24 x 10.5 mm3	180 x 24 x 10.5mm3
重量	126g	144g	180g	216g
可選閉環(huán)傳感器S
傳感器分辨率	1nm
重復(fù) 精度	±105nm	± 120nm	± 150nm	± 180nm
可選閉環(huán)傳感器L
傳感器分辨率	4nm (MCS2) 50 nm (HCU)
重復(fù) 精度	±210nm(MCS2) ± 1 µm(H CU)	±240nm(MCS2) ± 1 µm(H CU)	±300nm(MCS2) ± 1 µm(H CU)	±360nm (MCS2) ± 1 µm (H CU)

關(guān)鍵詞：位移臺(tái) 傳感器

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