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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

>SLS系列直線壓電位移臺(tái)<

詳細(xì)介紹

>

SLS系列直線位移臺(tái)通過(guò)一致性設(shè)計(jì)，以便易于集成到多軸系統(tǒng)中，其安裝孔形狀與SmarAct旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)和測(cè)角儀匹配。當(dāng)模塊化和易于配置是先需求時(shí)，SLS位移臺(tái)是的選擇。

E:/產(chǎn)品資料/位移臺(tái)調(diào)整架產(chǎn)品/SmarACT納米位移臺(tái)/Product_Photo_Rendering_SLS-3232-60bc8ac1.jpgimg2img3

系列

SLS-32

SLS-52

SLS-92

型號(hào)

SLS-3232

SLS-3252

SLS-3282

SLS-5252

SLS-5282

SLS-9292

SLS-92152

行程

21mm

31mm

51mm

31mm

51mm

63

103

掃描

分辨率

< 1 nm

速度

>20mm/s

垂直

負(fù)載

20N

體積

32x32x11mm3

32x52x11mm3

32x82x11mm3

52x52x14mm3

52x82x14mm3

92x92x17mm3

92x152x17mm3

重量

32g

54g

87g

90g

140g

339

558

可選閉環(huán)傳感器S

傳感器

分辨率

1nm（MCS2）

重復(fù)

精度

±50nm（MCS2）

可選閉環(huán)傳感器L

傳感器

分辨率

4nm（MCS2）

4nm （HCU）

重復(fù)

精度

±100nm（MCS2）

± 1 µm （HCU）

關(guān)鍵詞：位移臺(tái) 傳感器
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