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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第10年

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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備
HMDS烘箱
環(huán)境檢測(cè)試驗(yàn)箱
烘箱、烤箱
超低溫試驗(yàn)箱
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黑蒜機(jī),黑蒜箱

潔凈烤箱,10/100/1000級(jí)潔凈烤箱等級(jí)說(shuō)明

時(shí)間:2017/7/13閱讀:7682
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 潔凈度等級(jí)有標(biāo)準(zhǔn)就是ISO,還有國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn),10/100/1000級(jí)屬于國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)。10/100/1000的意思是:每立方米空氣內(nèi)含有微粒(微粒直徑大于等于0.1微米的zui大個(gè)數(shù)。例如,100級(jí)就是粒徑大于等于0.1微米的zui大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。  
國(guó)標(biāo)與ISO標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)應(yīng): 10級(jí)相當(dāng)于ISO4級(jí),100級(jí)相當(dāng)與ISO5級(jí),1000級(jí)相當(dāng)于ISO6級(jí)。
 

100級(jí)潔凈烤箱?用途:
  100級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

100級(jí)潔凈烤箱特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到zui的溫度控制精度。
100級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

   無(wú)塵等級(jí):Class 100; 可自定義10/1000級(jí)    

 溫度范圍:RT+10200℃;zui高溫度可自定義
   溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm)可自定義         
   電源:380v , 50Hz,20KW    

 網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

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