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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第10年

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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備
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精密無氧烘箱的剖析

時(shí)間:2021/5/12閱讀:2604
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精密無氧烘箱的名稱
     無氧烘箱也稱為無氧化烘烤(烤)箱、防氧化烘箱、厭氧烘(烤)箱,無塵無氧烘(烤)箱,高溫固化烘箱等。主要是提供一種高溫且氧含量很低的烘烤空間,防止產(chǎn)品在高溫烘烤、固化等工藝時(shí)產(chǎn)生氧化。
精密無氧烘箱的原理:
無氧:采用惰性氣體(常用氮?dú)猓┲脫Q腔內(nèi)氣體,達(dá)到氧濃度極低的環(huán)境;具有氧含量分析儀,全程檢測(cè)氧含量值,實(shí)時(shí)顯示
         并 記錄。

高溫:電加熱器提供高溫的環(huán)境;
降溫:水冷、風(fēng)冷可單獨(dú)采用一種或兩種降溫方式輔助降溫,使得降溫速率加快,提高生產(chǎn)效率,節(jié)約時(shí)間;
操作:無氧烘箱采用人機(jī)交互+PLC的控制方式,智能、快速、一鍵操作方式。
精密無氧烘箱的技術(shù)性能:
內(nèi)部大小:常用 W500mm×500mm×H500mm ,多尺寸可選擇、可定制
材料:  外部箱冷軋板噴塑,內(nèi)箱國際SUS304不銹鋼
溫度指標(biāo):  100-400/500℃
溫度精度:  0.1℃
波動(dòng)度:≤±1℃
均勻度: ≤1.5%℃
潔凈能力:可選class100,百級(jí)潔凈度   
低氧指標(biāo):  氧含量≤ 100ppm  
數(shù)據(jù)記錄:  氧含量記錄,多點(diǎn)溫度記錄
智能操作: 人機(jī)界面+PLC,可程式/定制運(yùn)行,大屏顯示、一鍵操作
產(chǎn)品支架: 2層

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