硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱概述

硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到所需控制精度。

 溫度記錄儀

a)   寬視角高分辨TFT彩色液晶屏

b)   六通道、無紙記錄方式

c)   曲線、數字、棒圖、總覽、報警、歷史畫面顯示

d)   通過網絡在PC機遠程查看本體畫面

e)   多功能面板按鍵

f)   批處理啟/停記錄，并生成數據文件

g)   數據安全保證

h)   400MB大內存

i)   二進制數據存儲

j)   網絡化數據冗余

箱體結構

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統組裝而成

結構合理，外觀美觀大方；

b)   箱體材料：外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑，可防止微塵；

c)   內膽材料：采用優(yōu)質SUS304鏡面不銹鋼板，并經堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE；