【產(chǎn)品簡介】
ContourGT-K 三維光學(xué)輪廓儀具有完善的表面測量和分析功能，擁有工業(yè)的測量性能和靈活性。采用白光干涉技術(shù)，超大視野內(nèi)埃級至毫米級的垂直計量量程，具有業(yè)界的垂直分辨率和測量重復(fù)性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數(shù)據(jù)，廣泛應(yīng)用于 IC 半導(dǎo)體、LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領(lǐng)域，滿足各種表面測量的實際需求。
【主要應(yīng)用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。
【主要參數(shù)】
垂直量程 | 0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無拼接） |
垂直分辨率 | 0.1nm |
電動樣品臺移動范圍 | ±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學(xué)橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復(fù)性 | <0.1% 1σ |
傾斜調(diào)整 | 手動樣品臺調(diào)節(jié) ± 6° |
垂直掃描速度 | 47um / 秒，用戶可自行設(shè)定 |
轉(zhuǎn)塔調(diào)節(jié) | 手動自動可選 |
分析軟件功能 | 可進(jìn)行兩維和三維分析，多區(qū)域自動分析（可對目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行統(tǒng)計編號，可自動分析目標(biāo)區(qū)域內(nèi)高度或深度分布情況），可分析表面粗糙度，可分析樣品表面缺陷及臺階高度， 并可對多次測量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計，得到詳細(xì)的統(tǒng)計報告（含平均值，方差，最小值，值等）。可進(jìn)行編程自動多點測量?？商峁┑臄?shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像，二維剖面圖， 以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。 |
環(huán)保在線