【產(chǎn)品簡介】
ContourGT-X 是實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)均可適用的高性能儀器。它積累了代產(chǎn)品在白光干涉技術(shù)上的創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了快速地三維表面測量，從納米級表面粗糙度測量到毫米級臺階的測量，垂直分辨率可達(dá)亞納米級?？删幊痰?XYZ 控制和*的掃描頭自動控制，使得儀器測試空間極大的拓展，多種自動化功能，使操作使用簡便易行。配備的 Vision64 軟件，具有業(yè)界的數(shù)據(jù)分析功能，其優(yōu)化設(shè)計的用戶界面為使用者自行定義測量和數(shù)據(jù)分析提供了極大的便利。內(nèi)部激光自校準(zhǔn)技術(shù)可以自動校準(zhǔn)因環(huán)境或機(jī)械不穩(wěn)定產(chǎn)生的漂移，無需標(biāo)準(zhǔn)塊，減少使用成本保證測試的精準(zhǔn)度。
【主要應(yīng)用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機(jī)械加工部件等領(lǐng)域的測量。
【主要參數(shù)】
垂直量程 | 0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無拼接） |
垂直分辨率 | 0.01nm |
電動樣品臺移動范圍 | ±200mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學(xué)橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復(fù)性 | <0.1% 1σ |
傾斜調(diào)整 | 自動鏡頭調(diào)節(jié) ± 6° |
垂直掃描速度 | 117um / 秒，用戶可自行設(shè)定 |
機(jī)器校準(zhǔn)方式 | 激光自校準(zhǔn)（可選） |
聚焦功能 | 鏡頭自動聚焦，自動調(diào)節(jié)干涉條紋光強(qiáng) |
環(huán)保在線