產(chǎn)品簡介：
EVG 510是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見的晶圓鍵合工藝。比EVG501擁有更多的溫度、壓力選擇。
主要特點及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·支持從單芯片鍵合到晶圓鍵合
·鍵合壓力：60KN
·鍵合溫度：550℃（可選配至650℃）
·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）
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