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北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG ComBond晶圓鍵合系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間:2024-04-27 07:29:54瀏覽次數(shù):254次

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EVG ComBond是一款自動(dòng)的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),應(yīng)用領(lǐng)域包括功率器件、MEMS封裝、高性能邏輯、超越CMOS器件、工程基板和疊層太陽能電池等領(lǐng)域中幾乎所有材料的共價(jià)鍵合。

產(chǎn)品簡介:

EVG ComBond是一款自動(dòng)的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),應(yīng)用領(lǐng)域包括功率器件、MEMS封裝、高性能邏輯、超越CMOS器件、工程基板和疊層太陽能電池等領(lǐng)域中幾乎所有材料的共價(jià)鍵合。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·支持8英寸(200mm)晶圓

·最多兼容3-6個(gè)工藝模塊

·高真空環(huán)境下的共價(jià)鍵合

·真空度:5*10-8mbar(加工)

·可通過手動(dòng)、cassette或EFEM上料

EVG 501晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG 501是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿

EVG 510晶圓鍵合系統(tǒng)

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EVG ComBond晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG ComBond是一款自動(dòng)的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),應(yīng)用領(lǐng)域包括功率

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