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北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG 501晶圓鍵合系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
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更新時(shí)間:2024-04-27 07:32:06瀏覽次數(shù):253次

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EVG 501是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),支持例如陽(yáng)極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

EVG 501是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),支持例如陽(yáng)極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·支持8英寸(200mm)晶圓

·支持從單芯片鍵合到晶圓鍵合

·鍵合壓力:20KN

·鍵合溫度:450℃

·真空度:0.1mbar(可選配至10-5mbar)

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