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激光干涉儀GPI XP/D

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更新時間:2022-08-27 10:14:18瀏覽次數(shù):483次

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀GPI XP/D

詳細介紹

  GPI XP/D激光干涉儀--運用移相干與原理,供給高精度的平面面形,球面面形,曲率半徑,樣品表面質(zhì)量,傳輸波前的測量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中國乃至較高的一款激光干與儀,廣泛應用于科研教育和生產(chǎn)檢測中。GPI XP/D主機為Fizeau型干與儀,測量精度高且操作簡單,選用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480(可以升級為1024×1024),合作功能強大MetroPro軟件可以獲得高重復性和高精度的測量成果,其三平板測量重復性優(yōu)于λ/300,rms重復性優(yōu)于λ/10,000。并能模仿樣品表面面形,并顯示明顯的,可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖畫,可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計數(shù)字成果等。同時,針對特別的樣品、特別的測量需求,可以為用戶規(guī)劃定制特別的測量系統(tǒng),結(jié)合MetroPro軟件,為用戶供給的技能解決方案并獲得滿意的測量成果。


  系統(tǒng):

  ◆測量功用:精細測量各種反射面和光學系統(tǒng)的外表描摹及特性

  ◆測量方法:激光3維相移干涉法

  ◆測量功用:精細測量各種不同反射面或光學面的描摹及特性

  ◆測量光束直徑:4″(102 mm)和6″(152 mm)

  ◆裝備:水平式,立式向下或立式向上

  ◆光學中心線:4.25″(108 mm)

  ◆對準系統(tǒng):快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點定位于十字線)

  ◆擴大規(guī)模:6:1(非接連式擴大,低失真)

  ◆調(diào)整可視規(guī)模:4″:±3°6″:±2°

  ◆光曈調(diào)焦規(guī)模:-800 mm/+1600 mm,4″孔徑

  ◆樣件觀察:計算機實時顯現(xiàn)/單獨監(jiān)視器

  ◆計算機:DELL PC;配有硬盤,光驅(qū),17英寸液晶彩顯,可選配打印機

  ◆軟件:Microsoft??Windows XP專業(yè)版下運行的ZYGO MetroProTM軟件

  ◆尺寸(高x寬x長):水平式4″:308 x 694 x 308 mm,水平式6″:308 x 992 x 308 mm,立式:H x 686x686 mm

  激光:

  ◆類型:II級氦-氖激光

  ◆波長:632.8 nm

  ◆通光孔徑輸出功率:≤1 mw

  ◆光束偏振態(tài):圓偏振,可選線偏振開關(guān)

  ◆相干長度:>100 m

  樣件特性:

  ◆材質(zhì):各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料

  ◆預處理:無需特殊處理,非接觸、非破壞性測量,在現(xiàn)場環(huán)境中操作。

  ◆樣件大小(高x寬x長):254 x 203 x 203 mm(帶2軸調(diào)整架)

  ◆樣件分量:≤22.7 Kg(帶2軸調(diào)整架)

  ◆反射率:0.1%-

  性能參數(shù):

  ◆3平板測量重復性:λ/300(2σ)

  ◆RMS重復性:2λ/10,000(2σ)

  ◆數(shù)據(jù)采樣:640x480像素,8位,可選:1K x 1K像素

  ◆分辨率:>λ/8,000

  ◆條紋分辨率:180條紋

  ◆數(shù)據(jù)采樣時刻:低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖畫):93 ms,高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖畫):173 ms

  環(huán)境要求:

  ◆溫度:15°C-30°C(60°F-95°F)

  ◆溫度變化率:<1.0°C/15min

  ◆濕度:相對濕度5%-95%,無凝結(jié)

  ◆防震:需要阻隔1-120Hz的轟動


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