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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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SKJ-50晶體生長(zhǎng)爐

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更新時(shí)間:2022-09-06 11:00:54瀏覽次數(shù):227次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SKJ-50晶體生長(zhǎng)爐

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SKJ-50晶體生長(zhǎng)爐是用提拉法生長(zhǎng)高質(zhì)量氧化物單晶及金屬單晶,如藍(lán)寶石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,可長(zhǎng)出晶體尺寸達(dá)3" 。

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

SKJ-50晶體生長(zhǎng)爐

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開(kāi)關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、與同類相比屬于小型晶體生長(zhǎng)爐,適合于大專院校、研究所使用。

2、電子稱在生長(zhǎng)過(guò)程中可自動(dòng)控制晶體的直徑。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:三相380V  25KW

2、感應(yīng)射頻:功率25KW,射頻0.2KHz-20KHz

3、真空腔體:Ø500mm×700mm

4、真空度:10-3torr(機(jī)械泵),10-5torr(擴(kuò)散泵)

5、提拉行程:500mm

6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h

7籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:0-40rpm

8、可熔融溫度:2100

9、控溫精度:<±0.2

10、冷卻水:所需水壓0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min

11、移動(dòng)速度:1mm/h-10mm/h可調(diào)

12、快速移動(dòng):手動(dòng)

13、結(jié)晶轉(zhuǎn)速:1rpm-50rpm

14、真空系統(tǒng):機(jī)械泵和擴(kuò)散泵

15、極限真空度:10-5torr

產(chǎn)品規(guī)格

1、爐體:880mm×1250mm×2850mm

2、控制柜:680mm×540mm×1700mm

3、中頻柜:1100mm×500mm×1500mm

4、總重:1500kg

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