概述
SE-L 是一款全自動高精度光譜橢偏儀,集眾多科技技術,采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術,配置全自動測量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結構的表征分析。
。高精度自動測量光學橢偏測量解決方案
。全自動變角、調焦等控制平臺,一鍵快速測量
。軟件交互式界面配合輔助向導式設計,易上手、操作便捷
。豐富的數(shù)據庫和幾何結構模型庫,保證強大數(shù)據分析能力
產品特點
采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);
高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據高速采集;
全自動橢偏測量技術,基于行業(yè)電機控制技術,全自動調整測量角度,高精度控制樣件臺,實現(xiàn)樣件快速自動對準找焦;
頤光技術確保在寬光譜范圍內,提供優(yōu)質穩(wěn)定的各波段光譜;
數(shù)百種材料數(shù)據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
產品應用
半導體薄膜結構:介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等;
平板顯示:TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等;
光伏太陽能:光伏材料(如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等)反射率,消光系數(shù)測量,膜層厚度及表面粗糙度測量等;
功能性涂料:增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學涂層,以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等;
生物和化學工程:有機薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理等;
塊狀材料分析:固體(金屬、半導體、介質等)或液體(純凈物或混合物)的折射率n和消光系數(shù)k表征,玻璃新品研發(fā)和質量控制等。
建議配件
| | | |
溫控臺 | Mapping擴展模塊 | 真空泵 | 透射吸附組件 |