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LH2000雙頻激光干涉儀

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更新時間：2023-03-02 13:08:47瀏覽次數(shù)：437次

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北京鐳測科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀的高精度線性位移、長度檢測標定工具

詳細介紹

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；

以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，

在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率性能的同時，

將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，

一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；

典型頻差7±0.5 MHz，測速高達2m/s。

系統(tǒng)組成：
LH2000激光測頭及附件
環(huán)境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

激光頭尺寸	330mm×110mm×95mm
激光頭重量	3.3kg
激光光束直徑	6mm
激光功率	>0.5mw
真空波長	632.99nm
頻差	可定制典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍	+10℃~+30℃
儲存溫度范圍	+15℃~+45℃
激光穩(wěn)頻精度	±0.02ppm
線性測量范圍	40m
線性測量精度	±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器)
分辨率	1nm
測量速度	2m/s
工作電源	220V/50Hz