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北京中科復(fù)華科技有限公司

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產(chǎn)品分類品牌分類

刻蝕設(shè)備: 離子束刻蝕反應(yīng)離子刻蝕感應(yīng)耦合等離子刻蝕

鍍膜設(shè)備: 熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備化學(xué)氣相沉積磁控濺射

杜邦刻蝕液: EKC270 EKC265

紫外光刻機(jī): 進(jìn)口紫外光刻機(jī) 國產(chǎn)紫外光刻機(jī)

進(jìn)口無掩膜激光直寫設(shè)備: RAITH無掩膜激光直寫設(shè)備

激光直寫DMD光刻機(jī): 激光直寫設(shè)備

深紫外光刻機(jī): 高分辨深紫外光刻機(jī)

電子束曝光系統(tǒng): 電子束曝光機(jī)

納米通用圖形發(fā)生器

引線鍵合機(jī): 法國JFP 引線鍵合機(jī)

桌面掃描電鏡: 桌面電鏡

原位納米壓痕儀: 納米壓痕儀

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高分辨深紫外光刻機(jī)

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　　PHABLE設(shè)備基于Eulitha采用的位移塔爾博特光刻(DTL)技術(shù)，通過低成本的光刻系統(tǒng)提供高分辨率光刻。DTL克服了傳統(tǒng)光刻中衍射的局限性，可曝光出質(zhì)量優(yōu)異的亞微米周期圖案。非接觸式曝光可同時(shí)保護(hù)掩模版和晶圓，無聚焦成像技術(shù)可實(shí)現(xiàn)在非平面基材和厚光刻膠上進(jìn)行均勻曝光。

　　PhableR具備以低成本光刻系統(tǒng)曝光高分辨率周期性結(jié)構(gòu)的能力。它類似于傳統(tǒng)的紫外曝光機(jī)，將涂有光刻膠的晶圓接近掩模版，然后用一束紫外深紫外光照射。由于Eulitha的突破性PHABLE曝光技術(shù)，分辨率不再受到不希望出現(xiàn)的衍射效應(yīng)的限制。如亞微米周期線性光柵和二維圖案等結(jié)構(gòu)(如六方和四方晶格曝光)，均具有高均勻性和保真度。

　　應(yīng)用廣泛，包括:

　　學(xué)術(shù)(R&D)

　　XR (AR / VR /MR)

　　光電子學(xué)

　　光學(xué)元件

　　生物/醫(yī)學(xué)

　　色彩/視覺效果

　　光刻技術(shù)服務(wù)

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