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刻蝕設(shè)備: 離子束刻蝕反應(yīng)離子刻蝕感應(yīng)耦合等離子刻蝕

鍍膜設(shè)備: 熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備化學(xué)氣相沉積磁控濺射

杜邦刻蝕液: EKC270 EKC265

紫外光刻機(jī): 進(jìn)口紫外光刻機(jī) 國產(chǎn)紫外光刻機(jī)

進(jìn)口無掩膜激光直寫設(shè)備: RAITH無掩膜激光直寫設(shè)備

激光直寫DMD光刻機(jī): 激光直寫設(shè)備

深紫外光刻機(jī): 高分辨深紫外光刻機(jī)

電子束曝光系統(tǒng): 電子束曝光機(jī)

納米通用圖形發(fā)生器

引線鍵合機(jī): 法國JFP 引線鍵合機(jī)

桌面掃描電鏡: 桌面電鏡

原位納米壓痕儀: 納米壓痕儀

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