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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌雋思
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
更新時(shí)間:2023-09-14 16:04:33瀏覽次數(shù):1229次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱
材質(zhì) | 不銹鋼 | 工作室尺寸 | 400-2000mm |
---|---|---|---|
功率 | 2000 | 加工定制 | 是 |
類型 | 鼓風(fēng) | 適用范圍 | 電子、半導(dǎo)體等 |
溫度范圍 | 50-300℃ | 重量 | 323kg |
堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱
堅(jiān)膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱技術(shù)性能:
溫度范圍:RT~250℃;
均勻度:±2%℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
潔凈度:Class100;
計(jì)時(shí)范圍:99H99M;
氣體氛圍:N2;
內(nèi)部尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
600×700×800(可定制)
電源:380v , 50Hz
網(wǎng)板:2-4只(高度可調(diào)節(jié))
可擴(kuò)展功能:
雙腔體或多腔體
智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件
掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取
自動(dòng)門控,上位機(jī)程控,機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品
堅(jiān)膜烘箱也可用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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