產(chǎn)品簡介:
EVG 850LT是一款專門用于SOI晶圓的全自動鍵合系統(tǒng),相比EVG850增加了低溫等離子體激活模塊,提高鍵合質(zhì)量。
主要特點及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)SOI晶圓
·通過Cassette-to-Cassette或者SMIF、Foup運行
·主要模塊:
機(jī)械對準(zhǔn)模塊(flat or notch)
清洗模塊
等離子表面處理模塊
預(yù)鍵合模塊
鍵合模塊
紅外檢測模塊
您好, 歡迎來到環(huán)保在線! 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置:亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)>>晶圓鍵合系統(tǒng)>> EVG 850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)
參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介:
EVG 850LT是一款專門用于SOI晶圓的全自動鍵合系統(tǒng),相比EVG850增加了低溫等離子體激活模塊,提高鍵合質(zhì)量。
主要特點及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)SOI晶圓
·通過Cassette-to-Cassette或者SMIF、Foup運行
·主要模塊:
機(jī)械對準(zhǔn)模塊(flat or notch)
清洗模塊
等離子表面處理模塊
預(yù)鍵合模塊
鍵合模塊
紅外檢測模塊
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
評價時間 | 類別 | 詳細(xì)內(nèi)容 | 評價者 | IP地址 |