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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等)

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2024-04-27 07:28:45瀏覽次數(shù):235次

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EVG GEMINI是一款全自動(dòng)多腔室晶圓鍵合工藝平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化,適用于大型量產(chǎn)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

EVG GEMINI是一款全自動(dòng)多腔室晶圓鍵合工藝平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化,適用于大型量產(chǎn)。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·支持12英寸(300mm)晶圓

·最多兼容4個(gè)鍵合腔室和6個(gè)預(yù)處理腔室

·兼容底部對(duì)準(zhǔn)、紅外對(duì)準(zhǔn)以及SmartView對(duì)準(zhǔn)

·可選配模塊:

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證模塊

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