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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科復華科技有限公司


當前位置：北京中科復華科技有限公司>>刻蝕設備>>離子束刻蝕>>離子束刻蝕機（IBE）

離子束刻蝕機（IBE）

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參  考  價:￥10 - ￥280 /臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號

    DISC-IBE-150C/200C

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-04-09 09:59:40瀏覽次數(shù)：520次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn)    

IBE刻蝕機采用離子束刻蝕技術，其原理基于離子和固體表面的相互作用。具體而言，離子束通過控制系統(tǒng)加速并聚焦，然后瞄準待刻蝕的樣品表面。離子束在與樣品表面相撞時，會發(fā)生多種相互作用，包括散射、表面反射、電子激發(fā)和離子抑制等。其中，離子抑制是IBE刻蝕機的核心原理

詳細介紹

應用方向：科研與教學

產(chǎn)品優(yōu)勢：負角度刻蝕降低反污染，熱態(tài)、冷態(tài)兩種中和系統(tǒng)，刻蝕腔體前后開門

產(chǎn)品配置：

★離子源種類：考夫曼離子源

★離子源口徑：Φ160mm/220mm

★中和方式：燈絲、冷態(tài)等離子體橋

★樣片數(shù)量及尺寸：1片Φ100mm/150mm樣品

★刻蝕材料：包括并不限于硅、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物、合金、陶瓷等。

★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)

★刻蝕不均勻性：±3%-±6%

★刻蝕速率：10-500nm/min（視具體材料與工藝）

★工作臺：可旋轉(zhuǎn)，可自傳，可調(diào)距離，包含水冷

★工藝氣路：1-2路

★束流檢測：法拉第筒在線檢測

★終點檢測控制：可選配質(zhì)譜儀

★操作模式：全自動+半自動控制

選型參考：DISC-IBE-150C（離子源口徑160mm）；DISC-IBE-200C（離子源口徑220mm）



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