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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京中科復(fù)華科技有限公司


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化學(xué)氣相沉積(PECVD)

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參  考  價(jià):10 - 280 /臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)

    PECVD-601/801/1201

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠(chǎng)商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-04-09 10:08:22瀏覽次數(shù):251次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠(chǎng)家

商鋪產(chǎn)品:12條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (銷(xiāo)售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)    

是一種在沉積腔室利用輝光放電使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法

詳細(xì)介紹

應(yīng)用方向:科研與教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì): 高性能薄膜制備

產(chǎn)品配置:

樣片數(shù)量及尺寸:1片Ф6英寸

沉積材料:包括并不限于硅基(Si)薄膜、碳基(C)薄膜、硅鍺合金(SiGe)、鎢硅合金(WSi2)、W、SiC。

沉積腔體:高真空系統(tǒng)

沉積不均勻性:±3%-±6%

沉積速率:20-600nm/min(視具體材料與工藝)

工作臺(tái):可升降,高度可調(diào)

加熱:常規(guī)加熱,可選高溫加熱

電源配置:射頻;直流偏壓

氣路數(shù)量與種類(lèi):標(biāo)配4路氣路 或 用戶(hù)選配

光學(xué)性能監(jiān)測(cè):可選配橢偏儀在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

漸變折射率薄膜制備:可選配快速流量變化與控制系統(tǒng)

操作模式:全自動(dòng)+半自動(dòng)控制

類(lèi)似產(chǎn)品:帶預(yù)真空室(PECVD-8100)


關(guān)鍵詞:工作臺(tái) 橢偏儀

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