您好, 歡迎來到環(huán)保在線！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到環(huán)保在線！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
18810401088
當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>激光直寫DMD光刻機(jī)>>激光直寫設(shè)備>> ZML10ADMD激光直寫光刻機(jī)
產(chǎn)品型號ZML10A
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
更新時間：2025-05-15 07:56:49瀏覽次數(shù)：73次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線
ZML10A是一款創(chuàng)新的桌面級無掩膜光刻設(shè)備，專為高效、精準(zhǔn)的微納加工需求設(shè)計(jì)。該設(shè)備采用高功率、高均勻度的LED光源，并結(jié)合的DLP技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了黃光或綠光引導(dǎo)曝光功能，真正做到“所見即所得"，極大提升了操作便捷性和工藝可控性。它的光路結(jié)構(gòu)和高精度直線電機(jī)位移臺確保了曝光精度和重復(fù)定位能力，同時配備CCD相機(jī)逐場自動對焦系統(tǒng)，進(jìn)一步優(yōu)化了成像質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。設(shè)備支持電動物鏡切換和激光主動對焦功能，能夠靈活應(yīng)對不同應(yīng)用場景的需求。其緊湊的桌面小型化設(shè)計(jì)不僅節(jié)省空間，還便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)環(huán)境中部署。此外，ZML10A配備了直觀易用的軟件界面，大幅降低了操作門檻，即使是初學(xué)者也能快速上手。無論是超材料結(jié)構(gòu)、電極圖案還是微流控芯片等復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的制備，ZML10A都能提供可靠的支持，是科研工作者和工業(yè)用戶的理想選擇。
▲ 桌面小型化
▲ 高功率、高均勻度LED刻寫光源
▲ 黃光/綠光引導(dǎo)曝光，所見即所得
▲ CCD相機(jī)逐場圖像自動對焦
▲ 高精度直線電機(jī)位移臺
▲ 易于操作的軟件界面
• 光路遠(yuǎn)離結(jié)構(gòu)圖
| 關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo) | ||
| 紫外光源中心波長 | 405nm | |
| 曝光均勻度 | 90% | |
| 最小特征線寬 | 0.5um | |
| 單次寫場曝光面積 | 0.6*0.4mm（@0.5um） | |
| 刻寫速率 | 3mm^2/min(@0.5um) | |
| 配置 | 基礎(chǔ)版 | 專業(yè)版 |
| 光源 | 強(qiáng)光LED：405nm | |
| DMD芯片 | DLP6500 | |
| 單場曝光面積 | 0.6*0.4mm（@0.5um）、1.2*0.8mm（@0.8um） 2.4*1.6mm（@1.5um）、12*8mm（@8um） | |
| 相機(jī) | 大靶面顯微相機(jī)（支持尺寸測量） | |
| 套刻精度 | 1um | 0.7um |
| 刻寫速度 | 3mm2/min(@0.5um) | 20mm2/min(@0.5um) |
| 運(yùn)動臺 | 高精度直線電機(jī)（重復(fù)定位精度±0.5um）調(diào)平機(jī)構(gòu)、手動旋轉(zhuǎn)臺 | 高精度直線電機(jī)（重復(fù)定位精度±0.5um）調(diào)平機(jī)構(gòu)、電動旋轉(zhuǎn)臺 |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 手動物鏡切換 | 電動物鏡切換 |
| 對焦模組 | CCD圖像自動對焦 | 激光主動對焦 |
| 支持硅片尺寸 | 4inch | 8inch |
應(yīng)用案例
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
環(huán)保在線